1200度水平布里奇曼晶体生长炉
详细技术参数
型号 |
TL1200-BG |
简介 |
这是一款坩埚可在炉管内移动的小型开启式管式炉,炉管外径为100mm,设备最高温度是1200℃,通过触摸屏数字控制器控制样品台或坩埚在炉管内的位置和温度,此设备可进行快速热处理,例如混合物理化学沉积、快速热蒸发以及在各种气氛下进行的水平布里奇曼生长,用于新一代晶体研究 |
功率 |
3.5 KW |
移动速度 |
0.1~2000μm/s(可调) |
移动行程 | 0~300mm(可根据要求定制) |
升降程序 |
1、该设备带有一块10寸触摸屏 2、触摸屏中内置本公司自主研发的PLC程序,画面友好,操作简单 3、软件做了安全保护按钮,防止误操作损坏设备 |
坩埚移动机构 |
1、一个铠装热电偶通过法兰伸入到炉管内,并可随坩埚移动,可实时监测样品的实际温度。 2、通过电机控制炉管内的坩埚,行程可定制 3、通过触摸屏设定坩埚的速度和目标位置,坩埚移动速度0.1~2000μm/s(可调) 4、在热电偶上安装了一个微型坩埚舟 5、可根据要求提供用于晶片的氮化铝样品架或石墨平板基地支架,需额外收费 |
炉管尺寸 |
Dia100(OD)×1000mm |
电源电压 |
220V |
相数 |
单相 |
加热元件 |
国产优质电阻丝(可选配Kanthal A1进口 电阻丝) 点击进入资料下载 |
控制方式
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采用宇电程序控温仪表(标配) 1、30段程序控温智能PID调节。 2、具有过温保护 断偶保护过温或断偶时电炉加热电路自动切断,,(当电炉温度超过1200度或热电偶烧断时,主电路上的交流继电器会自动断开,主电路断开,面板上ON灯熄灭,OFF灯亮,有限的保护电炉)。 3、带有485 通讯接口(选购软件时标配) 4、具有断电保护功能,即断电后再给电启动炉子时、程序不是从起始温度开始升、而是从断电时炉温开始升。 5、仪表具有温度自整定的功能 (更换进口仪表,需要另外付费,选购)
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炉膛材料 |
1、真空吸滤成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛。 2、采用日本技术成型,不掉渣,保温好。 3、炉膛里电阻丝的间距和节距全部按日本成熟的热工技术布置、经过热工软件模拟温场 |
法兰和阀门 |
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控制精度 |
+/- 1 ℃ |
触发器 |
移相触发 |
电器 |
浙江正泰 |
可控硅 |
106/16E 德国西门康 |
最高温度 |
1200 ℃ |
额定温度 |
1150 ℃ |
升温速率 |
≤30 ℃/ Min (可根据要求修改) |
推荐升温速率 |
≤10 ℃/ Min |
热电偶型号 |
K型 |
加热段长度 |
440mm |
真空度 (选配) |
1、单级泵 TW-1.5A 2、 双级泵 2XZ-2 3、 VS-0.1真空系统
4、 VS高真空系统 5、 恒压泵 6、英国PCG550(INFICON)电容真空计 1、一般粗略抽真空、把炉管里面的气体赶出来用:TW-1.5A单级泵即可。 2、双级泵2XZ-2 真空泵能够把管式炉炉管的真空度抽到10Pa左右。 3、VS-0.1真空系统能够把管式炉炉管内的真空度抽到0.1Pa(并配带有电阻真空计显示)。 4、VS高真空系统(该系统是由分子和机械泵组成)能够把管式炉炉管内的真空度抽到10-3 Pa。 5、恒压泵(该系统可以把管内压力控制在-100.0KPa~100.0KPa)。 6、英国(INFICON)电容真空计(测量范围3.8x10-5 -1125 Torr、可检测各种气体,包括混合气体,测量精确、重复性好、可选防腐类型PCG554) |
四周表面温度 |
≤45℃ |
开盖安全保护系统 |
炉体上带有空气开关和保险丝 ,当电流超过空开的额定电流时,空开会自动跳开,有效的保护电炉。 |
质保期 |
一年保修,终身技术支持 特别提示:1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不在保修期内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 |
注意事项 |
1.炉管内气压不可高于0.02MPa 2.由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,为了确保安全,建议使用压力低于0.02MPa 3.当使用的炉管为石英管时,炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当 4.进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的气流对热炉管的冲击 5.对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开排气阀,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等) |