5路质子流量计供( 混)气系统
5路质子流量计供气系统参数
一、概述
1.气体从钢瓶出来,经过减压阀减压,通过四氟管到供气系统的入口,再经过质子流量计控制气体流量,然后经过混气罐,再进入炉子进气口,气体从出气管出来,经过三通阀门,一端连接真空泵,一端连接出气口。
2.混气罐上接有压力表,压力表显数盘与质子流量计安装在同一面板上。
3.每一条气体管路均有一个高压截止阀,安全有保证。
4.该气路采用高精度气体浮子流量计,气路内部全采用四氟管,耐腐蚀性好。
5.所有接头采用卡套连接,气密性好,耐压高。
二、技术参数:
气路通道:5
气路流量控制:质子流量控制器。
接 口: Φ6
显 示: LED
工作环境温度: 5~45℃
流量控制器: 质子流量控制器(详细技术参数请查看后面)
四氟管:Φ6外XΦ4内
压力真空表 :-0.1~0.15 MPa , 0.01 MPa/格
截 止 阀:Φ6
三、供气系统内部压力不能过大,不然容易造成漏气,只要气体能正常流出来即可。
四、供气系统的配置:
1、质子流量计:5个
2、压力表:1个
3、截止阀门:6个
4、穿板接头:6个
5、阀门接头:2个
6、钢瓶接头: 5个
7、聚四氟乙烯管:25M
8、混气罐:1个
9、炉架:1台
质量流量计技术参数:质子流量控制器普通型,模拟电路,橡胶密封,管状分流,不易堵塞。
主要指标:
量程:5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM(你可以任意选择量程)
- 准确度:±1.5% F.S
- 线性:±0.5~1.5% F.S
- 重复精度:±0.2% F.S
- 响应时间:10S
- 气压降:<0.01MPa
- 最大压力:3MP
- 工作环境温度:5~45℃
- 输入输出信号:0~+5.00V
- 电源:+15V 50mA -15V 50mA
- 外形尺寸:158*30*110