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6英寸石墨烯晶圆生长设备

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技术参数

型号

SP-6VIM

优点

1、采用立式炉体,正面开门结构,进出料方便,炉体结构紧凑,占地空间小;

2、可以50段程序控温,控温精确,可以控制升温速率和恒温时间。

3、比管式炉更安全,没有断管子的风险

4、可以在更大尺寸的晶片上生长石墨烯

5、带有三路供气系统,可在触摸屏上直接设置流量,数字显示,操作简单

6、安装有稳压系统,可把炉体内气压稳定在某一数值

7、带有气体分散系统,可将进入炉腔内的气体尽可能的分散,使反应更加均匀

8、安装有水冷机,水冷机具有欠压和断水报警,使用安全可靠。

9、采用IGBT电源,具有过温、断水保护并具有报警、输出电流显示等功能。

最大输入功率

39KW(感应电源35KW+真空泵0.75KW+冷水机3.2KW)

最高温度

1800℃

外形尺寸

                 

铜圈尺寸

274mm(OD)X250mm(ID)X80mm(H)

石墨盘尺寸

外径160mm,壁厚2mm,内高15mm,外高25mm

石英管

250mm(OD)X240mm(ID)X450mm(H)

工作电压

三相 AC380V 50Hz

 

 

中频电源

功率

35KW

振荡频率

1~20KHZ

加热电流

10~70A

加热电压 70~550V

负载持续率

100%

冷却水要求

≥0.2MPa ≥6L/分

保护 带有欠水压、过热、过功率保护

气体分散装置

        

多孔石英板位于石墨盘正上方,气体从上法兰进气口进来后,经过多孔石英板被分散之后与石墨盘中物料充分接触,反应更均匀

稳压系统

 

稳压系统由真空泵、英国欧陆控制器、宇电控制器、压力变送器、电容规等组成。

在进气量小于2000SCCM,此稳压系统可将腔体内压力控制在0~20000Pa范围内的某一数值。压力波动±1Pa

宇电控制器和压力变送器用于控制真空泵的启动和粗略真空控制,压力变送器量程-100KPa~100KPa

欧陆仪表和电容规用于精确控制真空,压力测量范围0~20000Pa

供气系统

供气系统由质量流量计,液晶屏,控制软件组成,可在液晶屏上直接输入流量数值,精准控制流量

物料升降平台

物料可以通过自动升降平台到加热区、降下来后可从炉门处拿出。

1、升降平台行程          300mm

2、升降平台升降速度     0.1um-2000um/s  

3、升降平台上下都做了限位,最大限度的保护设备

4、放料取料都很方便

不锈钢支架

不锈钢支架垂直固定在移动架子上,石英管和法兰通过支撑板固定于不锈钢支架上,非常牢固、紧凑

下真空法兰

下不锈钢法兰上带有高温硅胶O型圈,并焊接有KF25接头、KF16接口和进气阀门,KF25接头上安装有真空挡板阀,1米长波纹管连接于该阀和真空泵,KF16接口可接真空计

上真空法兰

上真空法兰安装有压力表和进气阀,法兰盖配有2种,一种带玻璃观察窗,可观察管内物料融化的情况,一种热电偶,可对物料进行程序升温

耐火材料

炉管内的耐火装置由日本三菱1900型氧化铝纤维制成,最高温度可耐1800℃,顶部开有小孔,可插入热电偶

保护装置

在炉管的四周安装有钢化玻璃和固定钢化玻璃的铝型材,可以很好的保护使用者的安全

控温系统

 

采用PID控制,可对物料进行程序控温加热,可同时手动调节电流输出大小,设备带有过温保护

热电偶

钨铼5/26

控温精度

+/-5℃

保护玻璃

在炉管的四周安装有钢化玻璃和固定钢化玻璃的铝型材,可以很好的保护使用者的安全

真空泵

型  号 YTP750-4H
功  率 0.75KW
电源电压 三相380V

转  速

1420r/min

 

水冷机(选购)

 

 

 

型  号

HZ-03A

 最大扬程  38M
制冷量 7.224*10³kcal/h
 水箱容量  60L

输入总功率

3.2KW

机器尺寸

520X1150X1145(长X宽X高)

认证

质保期

1年,耗材除外

注意事项 

1、此款熔炼炉需在真空或气压小于0.02MPa(相对气压)的低压条件下使用;

2、若用户需要在气氛条件下进行实验,必须在进气气瓶上安装减压阀,减压阀的气压设置要小于0.02MPa,

    进气流量<200SCCM(200ml/min)

3、请您仔细阅读说明书,了解真空熔炼和惰性气体环境下熔炼的标准操作程序。在操作过程中请密切监控并正       确控制反应容器内部压力,否则,操作失败可能导致设备损坏或人身伤害

4、对样品加热时,不建议关闭抽气阀和进气阀使用。若气阀关闭对样品加热,要时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防不可预见的损失

如您需要定制,请联系我公司工程师

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

本产品由石英管、炉体、升降装置、不锈钢水冷法兰、耐火材料、供气系统、真空系统、稳压系统及中频电源控制系统等组成:

1、炉体:炉体由电器柜,不锈钢支架组成,不锈钢支架固定在电器柜上,用于支撑法兰。

2、不锈钢支架:不锈钢支架垂直固定在电器柜上,石英管和法兰通过支撑板固定于不锈钢支架上,非常牢固、紧凑

3、不锈钢法兰:上真空法兰安装有热电偶和进气阀,热电偶,可对物料进行程序升温。下不锈钢法兰上焊接有真空腔体,在真空腔体上开有炉门,可从该炉门拿取物料、腔体上焊接有KF25接头,可接四通,安装真空挡板阀,1米长波纹管连接于该阀和真空泵,KF16接口可接真空计

4、温控系统和热电偶:用PID控制,可对物料进行程序控温加热,可同时手动调节电流输出大小,设备带有过温保护

5、电器柜:由型铁板组焊成柜架结构,静电喷涂工艺。

6、水冷系统:由各种阀、管道等相关装置组成,断水时感应电压会声光报警、自动切断加热电源。

7、加热电源:电源采用最新技术,整套电源相当于一台电脑主机般大小,外观小巧、

8、耐火材料:采用日本进口氧化铝纤维材料,不掉粉、材料保温性能好、反射率高、温场均衡,抗热涨冷缩能力强。

9、供气系统:由质量流量计、供气管道、液晶显示屏以及控制软件等组成。可直接在液晶屏上设置气体流量,数字显示,控制精准,操作简单。

10、真空系统:由真空泵、真空管道、真空计、电阻规等组成,该设备真空度在10Pa左右。

11、稳压系统:由真空泵、英国欧陆控制器、宇电控制器、压力变送器、电容规等组成,此稳压系统可将腔体内压力控制在某一数值,波动很小。



我们只专注于电炉和球磨机。因为专注、所以专业。




销售热线: 4008-051-061
              025-83111681
              025-83693678
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