2100℃钨丝定向凝固炉
钨 丝 定 向 凝 固 炉 |
型号 | VWF-25-21-D | |
优点 |
1、外形紧凑,占地面积小 2、温度高,最高温度可到2100℃ 3、腔体洁净,可生长出高纯度的单晶 4、进口欧陆控温仪表,控温精度±0.1℃ 5、真空度高,配分子泵,真空度5×10-4Pa 6、操作简单,设备带有一块7寸触摸屏,可在触摸屏中设置工艺,简单便捷 |
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原理 |
物料在加热区熔化后,升降机构带动坩埚匀速下降,坩埚通过一个均匀下降的温度梯度场,熔融的物料晶格按照一定的顺序重新排列结晶,形成有序的晶体 |
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最高温度 | 2100℃ | ||
加热原件 | 高纯钨网 | ||
有效工作尺寸 | Dia60X80mm | ||
保温方式 | 钨、钼、不锈钢隔热屏 | ||
控温模式 | 进口欧陆仪表智能PID 500段程序控温 | ||
升降机构 |
升降速度:0.1-2000μm/s 升降行程:0-100mm (可根据客户需要定制) 转速:0-40RPM |
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腔体真空度(分子泵机组) | < 5X0 -4Pa (空炉、冷态) | ||
工作真空度 | < X10 -3Pa (空炉) | ||
腔体充气压力 | 0.05MPa | ||
升压率 | <4Pa/小时 | ||
断偶保护和显示 | 有 | ||
过温保护 | 有 | ||
过流保护 | 有 | ||
欠压保护(水压) | 有 | ||
控制精度 | +/- 1 ℃(600度以上) | ||
温度检测方式 | 钨套管钨铼热电偶 | ||
最大升温速率 | < 20度/Min | ||
真空腔体内是否水冷 | 是 | ||
冷水机(选配) | 5P | ||
真 空 机 组 |
机组输入电压 | 380V /220V | |
波纹管 | KF40X1000 | ||
真空挡板阀 | KF40 | ||
分子泵 |
分子泵型号 | FJ620C | |
输入电压 | 220V | ||
分子泵进气口法兰 | DN160 | ||
分子泵抽气速率L/S(对空气) | 600 | ||
分子泵极限压强(Pa) | 6×10-7 | ||
冷却方式 | 水冷 | ||
冷却水压(MPa) | 0.1-0.2 | ||
冷却水温度 | <25℃ | ||
环境温度 | 0~40℃ | ||
建议启动压强 | <10pa | ||
前级真空泵BSV-30 |
功率 | 0.75KW | |
电压 | 380V | ||
转速 | 1450rpm | ||
进气口径 | KF25/KF40 | ||
前机泵抽气速率(L/S) | 8 | ||
极限压强 | 4X10 -2Pa | ||
复合真空计 |
复合真空计型号 | ZDF | |
电源 | 220V 55W | ||
控制精度 | ± 1% | ||
真空计测量范围 | 10-5 -10 5 Pa | ||
冷水机(选购) |
型号 |
HZ-05A |
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电源 |
3PH-380V/50HZ |
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输入总功率 | 5.9KW | ||
制冷量 |
11696kcal/h |
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水箱容量 | 80L | ||
扬程 | 25M | ||
流量 | 4m3/h | ||
外形尺寸 |
1150×520×1140mm |
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重量 | 180Kg |
一、设备特点及主要用途
1、基本原理与用途:在真空或气氛保护情况下熔融原料,然后匀速下降坩埚,物料在一个均匀下降的温度梯度场内重结晶,晶格按照一定的顺序重新排列,形成有序的晶体。本设备为周期作业式,按照用户要求定制。
二、结构组成
炉体、炉盖、炉底、真空系统、控制系统、冷却系统、升降机构、发热体及隔热屏等。
三、结构说明
1、炉体:为立式炉壳,其内、外层均为304不锈钢做成的圆筒,外层镜面抛光处理。内外筒与前后法兰焊成一个整体,炉体开有电极孔、抽气孔、放气孔、热电偶孔、红外孔及观察孔等,各接口的材质均为不锈钢。
2、炉盖:由内外封头和法兰焊成,中间可通水冷却,炉盖开启装置。
3、炉底:由内外封头和法兰组成,中间通水冷却,下部设有充放气孔,固定在炉体下部,设有电极引出装置。
4、升降机构:升降机构由电机、PLC、液晶屏组成。
5、发热体及隔热屏:发热元件采用高纯钨制作成网状,有效增加辐射面积,保证温区的均匀性。隔热屏采用4层钨板,6层钼板,最外层采用不锈钢板支撑。
6、真空系统:
(1)主要由直联泵、分子泵,气动挡板阀、电磁截止阀、数显复合真空计、真空管路、放气阀、支架等组成;真空管道与泵之间采用金属波纹软管快速接头联接(减缓震动)。
(2)真空主抽泵直联泵(北仪优成)、分子泵(北京科仪)。
(3)气动挡板阀(川北科技)GDQ-150 1台 GDQ-J40 2台
(4)成都正华数显真空计1台。
(5)真空管路1套,由波纹管、三通管、真空泵、两个40的真空挡板阀、接口弯管等组成(波纹管内Φ40,三通管为40标准尺寸)。
7、控制系统:
采用英国欧陆仪表具有多项功能(3204)
1、5X16段程序控温,可以分成16组程序,如果分成5组程序,每条程序为20段,可以储存多组程序、使用时可以任意调出;
2、欧陆3204具有PID控制,温度能控制得很准确;
3、具有过温保护、过流保护和断偶时电炉加热电路自动切断等功能, ,(当电炉温度超过2120度或热电偶 烧断时,主电路上的交流继电器会自动断开,主电路断开,面板上ON灯熄灭,OFF灯亮,有效的保护电炉);
4、仪表有华氏度(F)和摄氏度(C)可供选择;
5、带有485 通讯接口,具有自动停机功能。
6、仪表精度为0.2级、液晶显示屏、自定义画面。
8、水冷系统:炉体、上下端盖采用夹层水冷的结构形式,在进出水主管路上安装水压继电器及压力表,同时与控制柜连接,异常状态时报警。能够定性的观察各分水路的水流大小。整个水冷系统确保各分路回水温度不高于40℃(进水温度20℃)。水冷系统主进直径50mm、回水管直径50mm(进水压力0.4MPa)。
四、设备安装要求
1、电力:380V,三相五线制,20KW,50Hz
2、冷却水:
- 耗量: 5m3/h
- 水压:1~0.4Mpa
- 进水水温: ≤40℃
- 接口尺寸: 2寸内丝连接
3、占地面积:1200mm(长)×700mm(宽)×1600mm(高)