2100℃真空烧结炉
VCF 真 空 碳 管 炉 |
型号 | VCF-48-21 | |
展示视频 | |||
特 点 |
该设备可用于做碳沉积之类的CVD实验,其具有以下优点 1、温度高,可达到2100℃ 2、安全,不会像管式炉出现断管子的风险 3、腔体大,比管式炉处理的样品体积大 4、加装防爆阀,可及时将腔体内多余气体排出。 5、采用电容薄膜规测量真空度,测量结果更精准。 若用户需要洁净的环境,可选购我公司钨丝炉或钼丝炉,具体可咨询我公司销售 |
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技术方案 |
1、一个石墨桶放在加热区内,石墨桶内有两个(也可定制其它数量)放物料的支架 2、气体由下方进气口进入石墨桶内,经过物料架,在衬底材料表面经过化学反应形成固体沉积物,多余的气体经上方排气口排出。 |
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最大功率 | 48KW | ||
电源 | 三相 380V 50/60Hz | ||
最高加热温度 | 2100℃ | ||
控温模式 | 欧陆 3204 智能PID 5×16段程序控温 | ||
加热碳管尺寸(mm) | Dia200(内径)×320 | ||
有效加热尺寸(mm) | Dia160×160 | ||
远程系统(选配) |
1、通过手机微信小程序控制 2、可操作设备 3、可随时查看设备运行状态 4、可查看温度数据并生成报表或温度曲线 5、可查看报警信息 |
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腔体真空度(扩散泵机组) | < 5×10 -3Pa | ||
腔体充气压力 | < 0.05MPa | ||
升压率 | <4Pa/小时 | ||
断偶保护和显示 | 有 | ||
过温保护 | 有 | ||
过流保护 | 有 | ||
欠压保护(水压) | 有 | ||
控制精度 | +/- 1℃ | ||
温度检测方式 | 钨套管钨铼热电偶 | ||
最大升温速率 | < 20度/min | ||
真空腔体内是否水冷 | 是 | ||
观察窗尺寸 | Dia 90mm | ||
外形尺寸 | 1.85*1.6*2米 | ||
防爆系统 |
防爆系统由压力变送器和防爆阀组成 压力传感器,可在压力控制表上设置报警压力,当炉管内压力大于等于设定的报警压力时,防爆系统会自动启动,并放出炉管内多余的气体。 防爆电磁阀由两个方向相反的单向阀组成,无论是真空还是气氛下都可以关的很好,不漏气,不回流。 压力变送器 防爆阀 |
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冷水机(选配) | 8P | ||
真 空 机 组
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机组输入电压 | 380V /220V | |
波纹管 | KF40×1000 | ||
真空挡板阀 | KF40 | ||
前级真空泵 VRD-60 |
功率 | 2.5KW | |
电压 | 380V | ||
转速 | 1450rpm | ||
进气口径 | KF25/KF40 | ||
前机泵抽气速率(L/S) | 15 | ||
极限压强 | 4×10 -2Pa | ||
扩散泵TK200 | 电压 | 220V | |
功率 | 2000W | ||
进气接口 | DN200 | ||
出气接口 | DN40 | ||
注入油量 | 0.4L | ||
抽气速率(N2) | 2000L/S | ||
复合真空计 |
复合真空计型号 | ZDF | |
电源 | 220V 55W | ||
控制精度 | ± 1% | ||
真空计测量范围 | 10-5 -10 5 Pa | ||
量程和气体 | 5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM (你可以任意选择以上量程和所通气体的类型) | ||
耐压 | 3MP | ||
流量控制精度 | ±1.0%F.S | ||
最大工作(使用)压力 | 0.3MPa | ||
线性 | ±0.5%F.S. | ||
重复精度 | ±0.2% F.S | ||
路数 | 1 、2、3、4、5、6、7、8 路(可任意选择几路) | ||
接头类型 | 双卡套不锈钢接头 | ||
系统工作压力范围 | 0.1~0.5 MPa | ||
工作温度 | 5-45℃ | ||
压力真空表表 | -0.1~0.15MPa 0.01MPa/格 | ||
静态混气室 | Dia50 X 400MM | ||
接口 | Dia6 / 1/4” | ||
冷水机(12P)
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电源 |
3PH-380V/50HZ |
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制冷量 |
18.3*10³kcal/h |
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输入总功率 |
12KW |
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扬程 |
50M |
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流量 |
12m3/h |
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水箱容量 |
130L |
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外形尺寸 |
730×1335×1415 |
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净重 | 285KG |
一:设备特点
本电炉为周期作业式,广泛应用于功能陶瓷,光学材料,碳复合材料,硬质合金,粉末冶金等在高温真空条件下进行烧结处理,也可在充气保护情况下成型烧结。
二、结构组成
1.炉体 2.炉盖 3.炉底 4.炉架 5.真空系统
6.温控系统 7.气路系统 8.变压器及联接电缆 9.水冷系统 10.发热元件及隔热屏
三、结构说明
1、炉体:采用双层水夹层结构,内层为不锈钢(1Cr18N9Ti)抛光,外层为优质碳钢,上、下法兰组焊成筒型结构,法兰平面开设密封槽。采用“O”圈真空密封,并设水冷装置(防止因温度过高“O”圈老化)。开设有抽气、热电偶、红外孔等。
2、炉盖:采用双层夹层封头结构,设有观察孔,屏蔽、锁紧、开启装置,并通水冷却。
3、炉底:同样采用双层水夹层封头结构,设有电极引出装置,支撑平台等,并设有水冷装置。
4、炉架:由型钢及钢板组焊成箱式结构,炉体安放在箱体上,美观大方。
5、真空系统:由壹台TK-200扩散泵配冷阱,壹台VRD-60机械泵、手动高真空挡板阀、真空压力表(±Pa)、充气阀、放气阀和真空管路等组成。机械泵采用金属波纹软管快速接头联接(减缓震动),真空度的测量采用数显复合真空计。
6、温控系统:采用可控制硅控温,仪表为欧陆温控表,具有P.I.D调节、超温声光报警功能,电器元件采用正泰品牌,电控屏箱按西门子标准制作,控温精度高,操作方便。
7、气路系统:在整个系统中设有1个进气口、1个放气口,可充气氛。
8、电气控制:采用可控硅控温,配有大电流变压器、调压器及温度控制仪表组成温度控制执行回路。电路设有断水、过流、超温报警及保护功能。
9、水冷系统:由各种管道阀等相关装置组成,具有断水声光报警自动切断电源功能。
10、变压器及联接电缆:采用与之相匹配的变压器及联接电缆。
11、发热元件及隔热屏:发热元件采用电极石墨加工成圆筒形的结构,隔热屏采用石墨、碳毡、石墨毡(1层石墨筒,4层碳毪和4层石墨毡,每层厚10mm以上),保温性能好、加热均匀、辐射面大、耐热冲击性好,可快速加热和冷却。保温层和发热分体,易维护和取装,保温套外用不锈钢框架支撑,固定。