VS-0.1低真空系统
VS-0.1低真空系统
一、概述
该系统(能把管式炉内的真空度抽到1Pa)由法兰、高真空挡板阀、电阻真空计、波纹管、支架、真空泵组成,在法兰出气嘴处接根三通管,三通管一端接电阻硅,另一端接高真空挡板阀,用Dia25的波纹把挡板阀和真空泵连接起来,连接口用KF25快捷卡箍。
二、真空泵技术参数
产品型号 |
FX-16 |
|
几何抽气速度 m3/h(L/s) |
16(4) |
|
极限分压强(Pa) |
气镇关 |
≤4X10-2 |
气镇开 |
≤8X10-2 |
|
极限总压强(Pa) |
气镇关 |
≤5X10-1 |
气镇开 |
≤6X10-1 |
|
噪音Lw:dB(A) |
气镇关 |
62 |
气镇开 |
65 |
|
水蒸气允许压强(Pa) |
2000 |
|
水蒸气抽除率(L/h) |
360 |
|
进气口径Φ |
DN25ISOKF |
|
出气口径Φ |
DN25ISOKF |
|
转速(r/min) |
1400 |
|
电动机功率(Kw) |
0.37 |
三、 电阻真空计
ZDR-I/ZDR-I-LED型单路电阻真空计
电阻真空计(又名皮拉尼真空计)采用经过特殊稳定化处理的ZJ-52T电阻规,并对其施与恒功率的新型定温工作方式,同时应用微处理机对规管的非线性进行线性处理。具有性能稳定、量程宽、响应快、漂移小等特性。以及强大可靠的以微处理为核心的继电控制、串行通讯输出、真空模拟量输出等功能。特别适用于真空应用设备的粗、低真空测量与控制。
技术参数:
* 配用规管:ZJ-53B/ZJ-54D电阻规
* 测量范围:105 ~10 -1 Pa
* 测量路数:1路
* 控制路数:2路可圹展至4或8路
* 控制范围:5×10 3 ~5×10 -1 Pa
* 控制方式:继电器触点输出,负载能力AC220V/3A (或DC28V/3A)无感负载
* 电源:90-260V/50Hz或220V ±10% 50Hz
* 功耗:25W
* 重量:4Kg/3Kg/0.5Kg (以不同机箱而定)
* 机箱尺寸:240 ×88× 280 或 265 ×119 ×280 或96 ×96 ×120
480× 88 ×280 或480 ×119 ×280 (宽×高×深)
性能特点:
*LED 绿屏数字显示。
* 宽广的测星范围
* 快速的反应速度
* 微机修正规管非线性,减少了测量误差。
* 光电隔离,数字滤波,增强抗干扰能力。
*PVC 彩色面板,外型美观大方。
* 点控或区域继电控制输出,同时设定点具有掉电保护记忆功能。
VS-0.1低真空系统
一、概述
该系统(能把管式炉内的真空度抽到0.1Pa)由法兰、高真空挡板阀、电阻真空计、波纹管、支架、真空泵组成,在法兰出气嘴处接根三通管,三通管一端接电阻硅,另一端接高真空挡板阀,用Dia25的波纹把挡板阀和真空泵连接起来,连接口用KF25快捷卡箍。
二、真空泵技术参数
产品型号 |
FX-16 |
|
几何抽气速度 m3/h(L/s) |
16(4) |
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极限分压强(Pa) |
气镇关 |
≤4X10-2 |
气镇开 |
≤8X10-2 |
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极限总压强(Pa) |
气镇关 |
≤5X10-1 |
气镇开 |
≤6X10-1 |
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噪音Lw:dB(A) |
气镇关 |
62 |
气镇开 |
65 |
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水蒸气允许压强(Pa) |
2000 |
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水蒸气抽除率(L/h) |
360 |
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进气口径Φ |
DN25ISOKF |
|
出气口径Φ |
DN25ISOKF |
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转速(r/min) |
1400 |
|
电动机功率(Kw) |
0.37 |
三、 电阻真空计
ZDR-I/ZDR-I-LED型单路电阻真空计
电阻真空计(又名皮拉尼真空计)采用经过特殊稳定化处理的ZJ-52T电阻规,并对其施与恒功率的新型定温工作方式,同时应用微处理机对规管的非线性进行线性处理。具有性能稳定、量程宽、响应快、漂移小等特性。以及强大可靠的以微处理为核心的继电控制、串行通讯输出、真空模拟量输出等功能。特别适用于真空应用设备的粗、低真空测量与控制。
技术参数:
* 配用规管:ZJ-53B/ZJ-54D电阻规
* 测量范围:105 ~10 -1 Pa
* 测量路数:1路
* 控制路数:2路可圹展至4或8路
* 控制范围:5×10 3 ~5×10 -1 Pa
* 控制方式:继电器触点输出,负载能力AC220V/3A (或DC28V/3A)无感负载
* 电源:90-260V/50Hz或220V ±10% 50Hz
* 功耗:25W
* 重量:4Kg/3Kg/0.5Kg (以不同机箱而定)
* 机箱尺寸:240 ×88× 280 或 265 ×119 ×280 或96 ×96 ×120
480× 88 ×280 或480 ×119 ×280 (宽×高×深)
性能特点:
*LED 绿屏数字显示。
* 宽广的测星范围
* 快速的反应速度
* 微机修正规管非线性,减少了测量误差。
* 光电隔离,数字滤波,增强抗干扰能力。
*PVC 彩色面板,外型美观大方。
* 点控或区域继电控制输出,同时设定点具有掉电保护记忆功能。
标准配置
FX-16真空泵 |
||
电阻真空计 |
进口电阻真空计(可选) |
|
国产电阻真空计(标配) |
||
波纹管 |
KF25(标配) |
|
KF40 (可选) |
||
真空挡板阀 |
KF25(标配) |
|
KF40(可选) |
||
KF卡套 标配3套 |
KF25(标配) |
|
KF40(可选) |
||
变径法兰 |
KF25(标配) |
|
KF40(可选) |