2000度提拉法晶体生长炉
这是一款特殊的提拉法（CZ）晶体生长炉（采用感应熔炼对金属样品熔化，最高温度可达2100℃）。此系统采用组成：高频感应加热电源，高真空腔体，石墨坩埚和精密提拉机构。
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VIF 真 空 感 应 熔 炼 炉
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型号 |
VIF-CZ |
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最大熔炼重量（按铁液计算） |
1Kg |
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最高加热温度 |
2100度 |
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高频加热电源
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采用电源 |
高频感应电源 |
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振荡频率 |
30-80KHZ |
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最大输入功率 |
35KW |
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加热电流 |
12-70A |
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冷却水要求 |
≥0.2MPa ≥6L/分 |
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电源重量 |
35KG |
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负载持续率 |
100% |
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输入电压 |
三相380V 50或60HZ |
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加热方式 |
感应加热 |
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腔体内直径 |
500mm |
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腔体真空度（分子泵机组） |
< 8X10 -4Pa |
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腔体充气压力 |
< 0.5MPa |
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升压率 |
<4Pa/小时 |
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断偶保护和显示 |
有 |
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过温保护 |
有 |
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过流保护 |
有 |
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欠压保护（水压） |
有 |
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控温模式 |
智能PID |
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控制精度 |
+/- 1~ 5 ℃（600度以上） |
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温度检测方式 |
B型热电偶和红外测温仪相结合。温度超过1800度，热电偶退出，用红外测温仪测温。 B型热电偶的测量范围：0-1800℃ 红外测温仪的测量范围：900-2300℃ |
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红外测温仪 |
美国进口红外测温仪，特点1、响应时间快、高精度； 2、可24小时实时连续在线测温、安全、耐用； 3、激光瞄准、稳定性好、尤其适合测量高温小目标； 4、10毫秒的响应时间和±0.3%的重复性精度，保证满足您进行快速、精确测温的要求。 |
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观察窗尺寸 |
Dia 90mm |
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电动搅拌装置（选配） |
该炉可以配搅拌装置，可以匀速的对物料进行搅拌，搅拌棒由一个调速电机带动、搅拌棒与炉体之间采用威尔逊或磁流体和波纹管密封，搅拌棒和电机在电动动丝杆的带动下可以上下自由滑动，进入坩埚和从坩埚里出来。 |
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提拉机构 |
精密可旋转（籽晶杆可旋转）提拉机构，提拉速度为0.1μm/s~2000μm/s 总行程：150mm （可根据客户需要定制） 籽晶杆转速：0-40RPM 下面是生长锗单晶的详细图片
原材料熔融 种籽晶 提拉 熔融 |
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真 空 机 组
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机组输入电压 |
380V /220V |
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波纹管 |
KF40X1000 |
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真空挡板阀 |
KF40 |
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前级机械泵FX-32
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功率 |
1.2KW |
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电压 |
380V |
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转速 |
1450rpm |
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进气口径 |
KF40 |
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前机泵抽气速率（L/S） |
8 |
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极限压强 |
4X10 -2Pa |
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复合真空计 |
复合真空计型号 |
ZDF |
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电源 |
220V 55W |
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控制精度 |
± 1% |
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真空计测量范围 |
10-5 -10 5 Pa |
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二级泵 为分子泵 （方案一） |
分子泵 （可以把腔体真空度抽到6X10E-4Pa）
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分子泵型号 |
FJ620 |
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输入电压 |
220V |
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分子泵进气口法兰 |
DN160 |
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分子泵抽气速率L/S（对空气） |
600 |
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分子泵极限压强（Pa) |
6×10-7 |
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冷却方式 |
水冷 |
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冷却水压（MPa） |
0.1-0.2 |
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冷却水温度 |
<25℃ |
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环境温度 |
0~40℃ |
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建议启动压强 |
<100Pa |
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二级泵为扩散泵
（方案二） |
扩散泵 可以把腔体真空度抽到5X10E-3Pa） |
电压 |
220V |
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功率 |
1000W |
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极限真空度（在无泄露时） |
10E-5Pa |
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进气接口 |
DN150 |
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出气接口 |
DN40 |
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注入油量 |
0.3L |
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抽气速率（N2） |
1000L/S |
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水冷机（选购）
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电源 |
220V 1.68KW |
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最大扬程 |
25M |
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最大流量 |
16L/min |
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水箱容量 |
15L |
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制冷量 |
4420Kcal/h |
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出入水口 |
Rp1/2’’ |
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机器尺寸 |
67X47X89(长X宽X高) |
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注意事项
1、此款熔炼炉需在真空或气压小于0.02MPa（相对气压）的低压条件下使用；
2、若用户需要在气氛条件下进行实验，必须在进气气瓶上安装减压阀，减压阀的气压设置要小于0.02MPa，
进气流量<200SCCM（200ml/min)
3、请您仔细阅读说明书，了解真空熔炼和惰性气体环境下熔炼的标准操作程序。在操作过程中请密切监控并正确控制反
应容器内部压力，否则，操作失败可能导致设备损坏或人身伤害
4、对样品加热时，不建议关闭抽气阀和进气阀使用。若气阀关闭对样品加热，要时刻关注压力表的示数，若气压表示数
大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀，以防不可预见的损失
如您需要定制，请联系我公司工程师
一、设备特点
1、采用卧式炉体，侧部开门结构，进出料方便，炉体结构紧凑，占地空间较小。
2、可以50段程序控温，控温精确，可以控制升温速率和恒温时间。
3、可以方便的更换不同的线圈以满足不同大小的晶体生长。
4、安装有观察孔，可以清晰的炉内坩埚物料的情况。
5、安装有红外测温仪，可以精确的测量加热套的温度。
6、配有分子泵，真空度可达8X10-4Pa
7、安装有水冷机，水冷机具有欠压和断水报警，使用安全可靠。
8、采用IGBT电源，具有过温、断水保护并具有报警、输出电流显示等功能。
12、广泛应用于大专院校及科研单位等在真空或保护气氛条件下晶体的生长。
二、结构说明
本产品由炉盖、炉体、气氛控制系统、真空系统、IGBT 电源、控制系统、水冷系统、工作台、电控系统等组成 ，炉体、气氛控制系统、电控系统和水冷系统等组成部分都安装在设备台架上，使整个设备成为一体,炉架下安装有水平调节轮、不但可以自由的拖动，并有调节水平的功能。
1、炉体：为全304不锈钢结构，氩弧焊焊接。炉壳采用双层水冷结构，保证炉壳温度不超过40℃。炉盖采用前开门结构，炉盖打开方式为手动，并加有锁紧装置，炉盖上设有观察孔，方便观察炉内情况。炉体上安装有进出气口、与水冷机连接的进出水口和安装有连接炉体内浇注装置的进出水管。
2、炉架：由型钢钢板组焊成柜架结构，炉体安置在炉架上。
3、温控系统(选购测温元件时)：温控系统是由测温系统，温控仪表组成，炉体上配有红外测温仪，把红外测温仪输出的1-5V信号通过控温仪表转换为温度信号，控温仪表可以控制感应炉的输出功率，这样形成一个闭合回路，可以对炉子的升温进行编程控制，可以进行50段程序控温，控温精度准确，升温速率可调，并可以进行恒温，以方便控制浇铸时的温度控制。
供货范围
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序号 |
产品名称 |
生产厂家 |
数量 |
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1 |
炉体系统 |
星空网页版 |
1 套 |
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2 |
直联泵 |
星空网页版 |
1 台 |
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3 |
扩散泵 |
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1 台 |
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4 |
复合真空计 |
成都正华 |
1 台 |
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5 |
IGBT 电源 |
星空网页版 |
1 套 |
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6 |
汇流水管 |
星空网页版 |
1 套 |
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7 |
高真空阀门 |
川北科技 |
3 件 |
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8 |
感应线圈 |
星空网页版 |
1 套 |
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9 |
真空管路 |
星空网页版 |
1 套 |
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10 |
说明书 |
星空网页版 |
2 套 |
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11 |
红外测温仪 |
星空网页版 |
1套 |
| 12 | 提拉机 | 星空网页版 | 1套 |
