鼓泡器
鼓泡器特别适用于在CVD实验中、让气体通过鼓泡器进气口进去罐体内液体中、液体鼓泡(进气管道嘴安装有鼓泡装置),从而将液相蒸汽带入到反应腔中。此混合罐的主体采用316不锈钢制作,罐体上部安装有进气出气口和一个机械压力表(压力范围为-0.1--0.15MPa),两个不锈钢截止阀分别安装在进气和出气口上,两接头都采用Φ6卡套接头(接头可以接聚四氟乙烯管、也可以卡Dia6mm的不锈钢管),罐内可承受气压可以承受到0.15Mpa(在正压环境下液体蒸汽量提高),同时罐体可承受温度可以达到250℃。
罐体容积350ml