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VS-0.1真空恒压系统

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  • 详细描述
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  • 标准配置
  • 选配件

 

电源

220V

尺寸

600X600X600

波纹管

KF25X1000mm

用该系统抽炉管真空度可达

10Pa

真空挡板阀

KF16

压力恒定范围

0.1KPa ~ 100 KPa

压力控制精确度

+/-0.1KPa

压力控制方式

自动控制

FX16(2XZ-4B)真空泵 

型号

FX16(2XZ-4B)

极限分压强气镇关

4X10-2Pa

进排气接口

KF25

电机转速

1420r/min

水蒸气抽速率

500L/h

电机功率

0.55KW

德国Preiffer ACP15

无油多级罗茨泵

型号

Preiffer ACP15

电源

100-220V   550W  50/60HZ

抽气接口

KF25

最大抽速

3.8L/S

极限真空度(Torr)

2.2X10

最大漏率

< 5X10

重量

23KG

压力传感器

最小测量单位

0.1KPa

测压范围

0-100.0KPa

对应输出信号

4~20mA

接口规格

KF16

 一、 概述

 该系统(能把管式炉内的真空度抽到0.1Pa)由带KF25接口的抽气法兰(自制)、高真空挡板法(中科科仪)、电阻真空计、波纹管(中科科仪)、支架(自制)、真空泵、变速器和真空控制器组成。可以使管式炉炉管内压力在0.1-100KPa范围内任意值恒定,您给定一个值,系统会自动让压力恒定在该值,并且没有任何波动。该设备广泛的应用于石墨烯的生长、MOS2生长和需要恒定负压的二维材料的生长,并可配套于MOCVD系统。

 二、工作原理:

 通过真空泵变速器和真空控制器来控制抽气量的大小,而从使管式炉管内压力控制在一个恒定值。

 三、详细参数:

 

电源

220V

尺寸

600X600X600

波纹管

KF25X1000mm

用该系统抽炉管真空度可达

10Pa

真空挡板阀

KF16

压力恒定范围

0.1KPa ~ 100 KPa

压力控制精确度

+/-0.1KPa

压力控制方式

自动控制

FX16(2XZ-4B)真空泵 

型号

FX16(2XZ-4B)

极限分压强气镇关

4X10-2Pa

进排气接口

KF25

电机转速

1420r/min

水蒸气抽速率

500L/h

电机功率

0.55KW

德国Preiffer ACP15

无油多级罗茨泵

型号

Preiffer ACP15

电源

100-220V   550W  50/60HZ

抽气接口

KF25

最大抽速

3.8L/S

极限真空度(Torr)

2.2X10

最大漏率

< 5X10

重量

23KG

压力传感器

最小测量单位

0.1KPa

测压范围

0-100.0KPa

对应输出信号

4~20mA

接口规格

KF16



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销售热线: 4008-051-061
              025-83111681
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