1400度高真空管式炉
TL1400-C单温区CVD系统详细技术参数
TL1400管式炉
|
型号 |
TL1400-C-I |
TL1400-C-II |
TL1400-C-III |
功率 |
4KW |
4KW |
6KW |
|
炉管尺寸OD(mm) |
高纯刚玉管:60/80/100*1000mm(管径可选) 两边各放置两个炉塞,炉塞可以阻挡炉管中心的热辐射,必须在加热前放置在炉膛的正确位置 |
|||
外形尺寸(LXDXH) |
6100X490X800 |
610X490X800 |
610X550X850 |
|
电源电压 |
220V / 380V |
|||
相数 |
单相 |
|||
加热元件 |
硅碳棒 |
|||
真空炉管内真空度 |
8X10 -4 |
|||
控制方式 |
采用宇电程序控温仪表(标配) 1、30段程序控温智能PID调节。 2、具有过温保护 断偶保护过温或断偶时电炉加热电路自动切断,,(当电炉温度超过1420度或热电偶烧断时,主电路上的交流继电器会自动断开,主电路断开,面板上ON灯熄灭,OFF灯亮,有限的保护电炉)。 3、带有485 通讯接口(选购软件时标配) 4、具有断电保护功能,即断电后再给电启动炉子时、程序不是从起始温度开始升、而是从断电时炉温开始升。 5、仪表具有温度自整定的功能 (更换进口仪表,需要另外付费,选购) |
|||
控温模式 |
智能PID |
|||
断偶保护和显示 |
有 |
|||
过温保护 |
有 |
|||
过流保护 |
有 |
|||
炉膛材料 |
1800型氧化铝多晶体纤维(日本进口) |
|||
控制精度 |
+/- 1℃ |
|||
触发器 |
移相触发 |
|||
电器 |
浙江正泰 |
|||
可控硅 |
106 / 16E德国西门康 |
|||
最高温度 |
1400℃ |
|||
额定温度 |
1350℃ |
|||
升温速率 |
≤20℃/分钟(可根据要求修改) |
|||
推荐升温速率 |
≤10℃/分 |
|||
热电偶型号 |
S型 |
|||
加热段长度 |
300mm |
|||
温度校准(选配) |
定期对管式炉进行温度校准,可保持炉温的准确性和均匀性。您可以在本公司选购一套简单的校准工具,辅助您完成这项工作,完整的校准套件包括标准热电偶,温度校准仪,补偿导线 |
|||
真空法兰
|
||||
电器认证 |
|
|||
四周表面温度 |
≤45℃ |
|||
|
电压 |
220V |
||
功率 |
110W |
|||
抽气接口 |
KF40 |
|||
重量 |
150KG |
|||
前机泵抽速 |
0.9m 3/ h |
|||
抽气速率(N2) |
33L/S |
质保期
一年保修,终身技术支持
特别提示:1.耗材部分如加热元件,炉管,样品坩埚等不在保修期内。
2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。
注意事项
1.炉管内气压不可高于0.02MPa
2.由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,为了确保安全,建议使用压力低于0.02MPa
3.当使用的炉管为刚玉管时,炉体温度高于1500℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当
4.进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的气流对热炉管的冲击
5.对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开排气阀,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等)
6.不要在氧化铝管中使用石墨坩埚
TL1400产品描述
管式炉以硅碳棒为加热元件,采用双层壳体结构和宇电控温仪表,能进行30段程序控温,移相触发、可控硅控制,炉膛采用氧化铝多晶纤维材料,炉管两端能不锈钢法兰密封,不锈钢法兰上安装有气嘴、阀门和压力表,抽真空时真空度能够达到10 -3 Pa,该炉具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等优点,是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火用的理想产品。
1、加热元件
(1)、硅碳棒的热端粗度d为14mm、一般厂家采用的12MM、加热端粗、不容易弯曲、棒子的表面负荷低,使用寿命长。
(2)、m冷端长度为210mm, 一般厂家采用180mm, 冷端长炉顶温度低。
(3)、硅碳棒表面氧化非晶膜致密,能够比较好的保护碳棒。
2、安装有空气开关和漏电保护器:
当电路过流或漏电时,空开会自动断开。
3、可以与电脑连接(选购)
该炉配可有通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的温度数据保存起来,随时可以调出
4、炉膛
进口炉膛 VS 国产炉膛
1、真空吸滤成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛。
2、采用日本技术成型。
3、炉膛材料热容低、热传导系数低,从而散热少、保温好、反射率高。温场均衡。
4、炉膛氧化铝丝细而长、耐温高、抗热涨冷缩能力强。
5、炉膛表面光洁、不易掉粉。
5、可选UL认证电气板 (全部通过UL认证的进口电器)
7、认证
管式炉标准配件
描叙 |
数量 |
图片 |
TL1400管式炉 |
1套 |
|
刚玉管 |
1根 |
|
不锈钢法兰 |
1套 |
|
不锈钢炉钩 |
1个 |
|
氧化铝炉塞 |
2对 |
|
高温手套 |
1双 |
|
氧化铝坩埚 |
1个 |
|
ķ型热电偶 | 1个 | |
485转换接口和软件 (选配) |
1套 |
|
说明书 |
1本 |
|
法兰支撑架 |
1份 |
|
高真空抽气系统 | 1台 | |
卡套 | 4个 | |
波纹管 | 1支 | |
真空挡板阀 | 1个 |