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1200℃-1400℃-1200℃三温区PECVD系统

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详细技术参数

 管式炉

 

 

 

型号

TL1200-1400-1200-H-PE-I

 功率

6KW

  炉管尺寸

Dia 60(OD) X2700mm

电源电压

220V

相数

单相

加热元件

硅碳棒         国产优质电阻丝(可选配瑞典Kanthal  A1 进口电阻丝)    点击进入资料下载

控制方式

 

 采用宇电程序控温仪表(标配)

1、30段程序控温智能PID调节。

2、具有过温保护 断偶保护过温或断偶时电炉加热电路自动切断,,(当电炉温度超过1200度或热电偶烧断时,

主电路上的交流继电器会自动断开,主电路断开,面板上ON灯熄灭,OFF灯亮,有限的保护电炉)。

3、带有485 通讯接口(选购软件时标配)

4、具有断电保护功能,即断电后再给电启动炉子时、程序不是从起始温度开始升、而是从断电时炉温开始升。

5、仪表具有温度自整定的功能

(更换进口仪表,需要另外付费,选购)

                                                       

FP93控温仪表                          欧陆仪表                   触摸屏仪表

(日本岛电)

 控温模式

智能PID

断偶保护和显示

过温保护

过流保护

控制精度

+/- 1 ℃

触发器

移相触发

电器

浙江正泰

可控硅

106/16E 德国西门康

最高温度

温区一:1200 ℃             温区二:1400 ℃                 温区三:1200 ℃    

额定温度

温区一:1100 ℃             温区二:1300 ℃                 温区三:1100 ℃    

升温速率

≤30 ℃/ Min (可根据要求修改)

推荐升温速率

≤15℃/ Min

热电偶型号

温区一:K 型                  温区二:S型                        温区三:K型      

加热段长度

温区一:200mm             温区二:200 mm                 温区三:200mm

电器认证

四周表面温度

≤45℃

阀门和法兰

 

射频电源

(等离子体发生器)

 

功率输出范围

  0-500W

 

 

 

 

 

最大反射功率 

 200W

工作频率

射频:13.56MHZ±0.005%

功率稳定度

 +/-0.1% 

谐波分量

≤-50dbc

射频区域宽度

0-600mm 可调

匹配方式 

 自动

 冷却方式

 分冷

 噪声

 <50dB

射频接口

 50Ω   N-type

输入电源

 208-240V  50/60HZ

 

GX供气系统主要参数

 

质量流量计

 

 

量程和气体

  5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM  (你可以任意选择以上量程和所通气体的类型)

耐压

3MP

流量控制精度

±1.0%F.S

最大工作(使用)压力

0.3MPa

线性

±0.5%F.S.

重复精度

±0.2% F.S

路数

   1 、2、3、4、5、6、7、8 路(可任意选择几路)

接头类型

 双卡套不锈钢接头

系统工作压力范围

0.1~0.5 MPa

工作温度

 5-45℃

压力真空表表

-0.1~0.15MPa    0.01MPa/格

静态混气室

 Dia50 X 400MM

接口

 Dia6  / 1/4”

VS-0.1抽气系统

方案一或方案二任选一个

 

 

 

电源

  220V

尺寸

 650X650X600    /    650X650X300

波纹管

 KF25X1000mm

用该系统抽炉管真空度可达

 10 -1Pa

真空挡板阀

 KF25

 

VRD-8真空泵 

方案一

型号

VRD-8

  极限分压强

5X10-2 Pa

   进排气接口

 KF25

电机转速

1440RPM

抽气速率

 2.2L/S

电机功率

0.4KW

Preiffer ACP15

无油多级罗茨泵

方案二

型号 ACP15
电源  AC100-240   50/60HZ
功率 450W
重量 25KG
最高氦气漏率 5 · 10-8 Pa m3/s 
抽气速率 14  m3/h
极限压强 0.02Torr
进、排气接口 KF25

电阻真空计

(方案一)

型号

ZDR-1

功率

25W

  真空度测量范围

0.1-10 Pa

电阻硅

ZJ-52T

    

 

 

 

 

瑞典(INFICON)皮拉尼陶瓷电容真空计

(方案二)

 

 

 

 

   

 

型号

PCG554

  输入电压

 24V  1A DC(配有220V变压器)

真空计接口

KF16

数字显示

数字显示(屏幕尺寸为20x14mm),其数据显示单位为torr

产品尺寸

46mm×28mm×126mm ( L x W x H)

重量

5 lbs

检测气体

可检测各种气体,包括混合气体,测量精确、重复性好。

是否防腐

防腐

响应时间

≤30ms

测量范围

3.8x10-5 -1125 Torr.

分子泵机组(选购)

(方案一或方案二任选一个)

机组输入电压

380V /220V

波纹管

KF40X1000

真空挡板阀

KF40

机箱尺寸

600X600X600

分子泵

(方案一)

 分子泵型号

  FJ620

  输入电压

 380V

  分子泵进气口法兰

  DN160

分子泵抽气速率L/S(对空气)

  600

分子泵极限压强(Pa)

6×10-7

冷却方式

 水冷

冷却水压(MPa)

 0.1-0.2

冷却水温度

<25℃

环境温度

0~40℃

建议启东压强

<100pa

分子泵前级真空TRP-24

(FJ620分子泵必须要配此前级泵)

(方案二)

功率

0.75KW

电压

380V

转速

1450rpm

进气口径

 KF25/KF40

前机泵抽气速率(L/S)

6

极限压强

4X10 -2Pa

 

 

德国Pfeiffer真空泵(方案二)

 

电压

220V

功率

110W

抽气接口

KF40

重量

150KG

前机泵抽速

0.9m 3/ h

抽气速率(N2)

33L/S

 

复合真空计

复合真空计型号

ZDF

 电源

 220V   55W

控制精度

± 1%

 真空计测量范围

10-5 -10 Pa

质保期

一年保修,终身技术支持

特别提示:1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不在保修期内。

2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

注意事项

1.炉管内气压不可高于0.02MPa

2.由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,为了确保安全,建议使用压力低于0.02MPa

3.当使用的炉管为石英管时,炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当

4.对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开排气阀,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等)

 

   TL1200-1400-1200 滑竿式三温区PECVD系统,由三台滑竿式真空管式炉、石英真空室、射频电源、GX供气系统、抽气系统、真空测量系统、电动拖动机构组成。

 

 主要特点:

      1、通过射频电源把石英真空室内的气体变为离子态。

      2、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积所需的温度更低

        3、可以通过射频电源的频率来控制所沉积薄膜的应力大小

        4、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积速率高、均匀性好、一致性和稳定性高。

        5、广泛应用于:各种薄膜的生长,如:SiOx, SiNx, SiOxNy 和无定型硅(a-Si:H) 等。

 

   这款三温区PECVD系统是一款能够快速加热、冷却的PECVD系统,是在三台管式炉安装一对电动滑轨,可用电动滑动系统。加热和冷却速率最大可达100°C/min。为取得最快加热,可以预先加热炉子到设定的温度,然后移动炉子到样品位置。为获得最快冷却,可在样品加热后移动炉子到另一端。加热和冷却速率在真空或者惰性气体环境下可以达到10°C/s,是低成本快速加热、冷却的双温区PECVD系统。

 

   这款三温区PECVD系统以瑞典Kanthal电阻丝和硅碳棒为加热元件,采用双层壳体结构和30段程序控温仪表,移相触发、可控硅控制,炉膛采用日本进口氧化铝多晶纤维材料,炉管两端采用不锈钢法兰密封,不锈钢法兰上安装有气嘴、阀门和压力表,抽真空时真空度能够达到10-3 Pa,  分两个温区,两个温区可以独立控制、设置不同的温度,使用方便,操作简单,该炉具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等优点,是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、生长石墨烯、生长各种薄膜的理想产品.。

 

1、加热元件

                    

 

(1)、硅碳棒的热端粗度d为14mm、一般厂家采用的12MM、加热端粗、不容易弯曲、棒子的表面负荷低,使用寿命长。

(2)、m冷端长度为210mm, 一般厂家采用180mm, 冷端长炉顶温度低。

(3)、硅碳棒表面氧化非晶膜致密,能够比较好的保护碳棒。

 

2、 电阻丝炉膛

        

 (1)、使用真空吸附成型工艺,将加热元件嵌入固定在耐火材料内,是集发热和隔热的为一体的电热模块单元

(2)、使用温度高达1250度,具有卓越的加热效果和热稳定性

(3)、炉膛里电阻丝的间距和节距全部按日本最优的热工技术布置、经过热工软件模拟温场

(4)、采用4周加热,温场更加均衡

(5)、电阻均衡、温场均衡性好

                                                          

 电阻均匀 、 发热量均衡

        温场效果好                 

 

3、安装有空气开关和漏电保护器:

当电路过流或漏电时,空开会自动断开。

 

4、可以与电脑连接(选购)

该炉配可有通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的温度数据保存起来,随时可以调出

 

 

5、炉膛

 

                  

      进口炉膛                            VS                      国产炉膛 

1、真空吸滤成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛。

2、采用日本技术成型。

3、炉膛材料热容低、热传导系数低,从而散热少、保温好、反射率高。温场均衡。

4、炉膛氧化铝丝细而长、耐温高、抗热涨冷缩能力强。

5、炉膛表面光洁、不易掉粉。

 

6、可选UL认证电气板 (全部通过UL认证的进口电器)

 

 

7、多款可供选择的各种法兰 (直径从25到250mm)

                           

铰链式法兰(选购)       可以接电阻真空计和KF25波纹管的法兰(选购)    水冷法兰(选购)

                   

 

8、认证

     

 

 

 

TL1200-1400-1200三温区滑动式PECVD系统标配

描叙

数量

图片

TL1200-1400-1200三温区滑动式管式炉

1 套

 

石英管

1根

不锈钢法兰

1 套

  

不锈钢炉钩

1 个

氧化铝炉塞

3个

高温手套

1 双

氧化铝坩埚

1 个

K型热电偶 3个

485转换接口和软件(选配)

1 套

说明书

1本

 

法兰支撑架

1 份

 

供气系统

 1台
VS-0.1抽气系统 1台
射频电源 1台

卡套 4个                                       
波纹管 1支                                    
真空挡板阀 1个                           
钢瓶接头(N代表路数) N个                  
阀门接头 2                              
聚四氟乙烯管(N代表路数) NX5                         

 



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