RF射频电源
PECVD系统,它由管式炉,石英真空室、真空系统、供气系统、射频电源系统等组成。主要使用于:金属薄膜,陶瓷薄膜等,复合薄膜,石墨烯等生长。增加功能容易,可扩展等离子清洗刻蚀等功能。该PECVD系统具有: 薄膜沉积速率高、均匀性好、一致性和稳定性高等优点。
RF射频电源主要技术参数:
功率输出范围 |
0-500W |
最大反射功率 |
200W |
工作频率 |
射频:13.56MHZ±0.005% |
功率稳定度 |
+/-0.1% |
谐波分量 |
≤-50dbc |
射频区域宽度 |
0-600mm 可调 |
匹配方式 |
自动 |
冷却方式 |
分冷 |
噪声 |
<50dB |
射频接口 |
50Ω N-type |
输入电源 |
208-240V 50/60HZ |