1200度转动式PECVD系统
RTL1200-PECVD系统技术参数
RTL1200 管式炉
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型号 |
RTL1200-PECVD |
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功率 |
3.5KW |
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炉管尺寸
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Dia 60(OD)X1400mm |
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外形尺(LXDXH) |
1300X420X1200 |
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电源电压 |
220V |
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相数 |
单相 |
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加热元件 |
瑞典Kanthal A1 进口电阻丝 (电阻丝可承诺保修2年) 点击进入资料下载 |
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控制方式
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采用宇电程序控温仪表(标配) 1、30段程序控温智能PID调节。 2、具有过温保护 断偶保护过温或断偶时电炉加热电路自动切断,,(当电炉温度超过1200度或热电偶烧断时,主电路上的交流继电器会自动断开,主电路断开,面板上ON灯熄灭,OFF灯亮,有限的保护电炉)。 3、带有485 通讯接口(选购软件时标配) 4、具有断电保护功能,即断电后再给电启动炉子时、程序不是从起始温度开始升、而是从断电时炉温开始升。 5、仪表具有温度自整定的功能 (更换进口仪表,需要另外付费,选购) |
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控温模式 |
智能PID |
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断偶保护和显示 |
有 |
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过温保护 |
有 |
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过流保护 |
有 |
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炉膛材料 |
1、真空吸滤成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛。 2、采用日本技术成型,不掉渣,保温好 3、炉膛里电阻丝的间距和节距全部按日本成熟的热工技术布置、经过热工软件模拟温场 |
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控制精度 |
+/- 1 ℃ |
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触发器 |
移相触发 |
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电器 |
浙江正泰 |
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可控硅 |
106/16E 德国西门康 |
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最高温度 |
1200 ℃ |
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额定温度 |
1100 ℃ |
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升温速率 |
≤20 ℃/ Min (可根据要求修改) |
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推荐升温速率 |
≤10℃/ Min |
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热电偶型号 |
K 型 |
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加热段长度 |
400mm |
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真空法兰 |
1、为了增加抽气速率,达到更高真空的要求。可将原有软管接头更换成KF-25接口(VS-0.1和VS高真空系统接口皆为KF25) 2、如用于供气系统,可将原有软管接头更换成Φ6.35mm双卡套接头. |
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转动电机功率 | 40W | |||||
电动推杆功率 | 40W | |||||
炉子倾斜角度 | -10~30度 | |||||
炉管转动速率 | 采用无级变速电机 转速可在1-25转/min 之间可调 | |||||
转动密封方式 | 采用转动磁流体密封 | |||||
四周表面温度 |
≤45℃ |
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阀门和法兰
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功率输出范围 |
0-500W |
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最大反射功率 |
10W |
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信号频率 |
13.56MHZ±0.005% |
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冷却方式 |
空气冷却 |
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输入电源 |
208-240V 50/60HZ |
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标准量程 |
采用质子流量控制器 5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM (你可以任意选择量程和所通气体的类型) |
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最大工作压力 |
3MP |
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准确度 |
±1.5% |
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气压降 |
<0.01MPa |
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重复精度 |
±0.2% F.S |
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路数 |
1 、2、3、4、5、6、7、8 路(可任意选择几路) |
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接头类型 |
双卡套不锈钢接头 |
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系统工作压力范围 |
0.1~0.5 MPa |
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工作温度 |
5-45℃ |
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压力真空表表 |
-0.1~0.15MPa 0.01MPa/格 |
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静态混气室 |
Dia50 X 400MM |
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接口 |
Dia6 1/4” |
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VS-0.1抽气系统
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电源 |
220V |
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尺寸 |
600X600X600 |
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波纹管 |
KF25X1000mm |
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用该系统抽炉管真空度可达 |
10 -1Pa |
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真空挡板阀 |
KF25 |
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型号 |
VRD-8 |
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极限分压强 |
5X10-2 Pa |
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进排气接口 |
KF25 |
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电机转速 |
1440RPM |
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抽气速率 |
2.2L/S |
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电机功率 |
0.4KW |
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型号 | ACP15 | |||||
电源 | 100-240V 50/60HZ | |||||
极限分压强 | 0.02 Torr | |||||
进、排气接口 | KF25 | |||||
重量 | 25KG | |||||
最高氦气漏率 | 5 · 10-8 Pa m3/s | |||||
抽气速率 | 14 m3/h | |||||
功率 | 450W | |||||
型号 |
ZDR-1 |
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功率 |
25W |
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真空度测量范围 |
0.1-10 5 Pa |
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电阻硅 |
ZJ-52T |
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型号 |
PCG554 |
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输入电压 |
24V 1A DC(配有220V变压器) |
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真空计接口 |
KF16 |
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数字显示 |
数字显示(屏幕尺寸为20x14mm),其数据显示单位为torr |
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产品尺寸 |
46mm×28mm×126mm ( L x W x H) |
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重量 |
5 lbs |
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检测气体 |
可检测各种气体,包括混合气体,测量精确、重复性好。 |
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是否防腐 |
防腐 |
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响应时间 |
≤30ms |
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测量范围 |
3.8x10-5 -1125 Torr. |
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分子泵机组(选购) |
机组输入电压 |
380V /220V |
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波纹管 |
KF40X1000 |
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真空挡板阀 |
KF40 |
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机箱尺寸 |
600X600X600 |
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分子泵型号 |
FJ620 |
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输入电压 |
380V |
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分子泵进气口法兰 |
DN160 |
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分子泵抽气速率L/S(对空气) |
600 |
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分子泵极限压强(Pa) |
6×10-7 |
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冷却方式 |
水冷 |
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冷却水压(MPa) |
0.1-0.2 |
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冷却水温度 |
<25℃ |
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环境温度 |
0~40℃ |
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建议启东压强 |
<100Pa |
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功率 |
0.75KW |
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电压 |
380V |
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转速 |
1450rpm |
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进气口径 |
KF25/KF40 |
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前机泵抽气速率(L/S) |
6 |
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极限压强 |
4X10 -2Pa |
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电压 |
220V |
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功率 |
110W |
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抽气接口 |
KF40 |
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重量 |
150KG |
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前机泵抽速 |
0.9m 3/ h |
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抽气速率(N2) |
33L/S |
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复合真空计型号 |
ZDF |
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电源 |
220V 55W |
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控制精度 |
± 1% |
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真空计测量范围 |
10-5 -10 5 Pa |
保修期
一年保修,终身技术支持
特别提示:1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不在保修期内。
2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。
注意事项
1.炉管内气压不可高于0.02MPa
2.由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,为了确保安全,建议使用压力低于0.02MPa
3.当使用的炉管为刚玉管时,炉体温度高于1500℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当
4.进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的气流对热炉管的冲击
5.对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开排气阀,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等)
6.不要在氧化铝管中使用石墨坩埚
7.MoSi2加热元件不得长时间在在低温下(400℃-700℃)使用,否则将可能损坏加热元件
1、瑞典Kanthal A1 电阻丝
Kanthal A1 原丝 国产电阻丝炉膛 VS 进口电阻丝炉膛
(1)、表面温度高可达1420℃
(2)、表面为不锈钢色(非常亮、客户识别时要注意)、不会生锈,使用时间再长都不会掉渣。
(3)、Kanthal电阻丝资料下载
(4)、Kanthal电阻丝网站:www.kanthal.com
(5)、电阻均衡、温场均衡性好
大部分厂家使用的首钢生产的Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo 电阻丝 Kanthal A1 电阻丝 电阻均匀 、 发热量均衡
有时候电阻不均衡、一部分发热量大一部分发热量小 温场效果好
2、安装有空气开关和漏电保护器:
当电路过流或漏电时,空开会自动断开。
3、可以与电脑连接
该炉配有通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的温度数据保存起来,随时可以调出
4、炉膛
1、真空吸滤成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛。
2、采用日本技术成型。
3、炉膛里电阻丝的间距和节距全部按日本成熟的热工技术布置、经过热工软件模拟温场
4、采用4周加热,温场更加均衡
5、可选UL认证电气板 (全部通过UL认证的进口电器)
6、认证
7、法兰
铰链式法兰(选购) 可以接电阻真空计和KF25波纹管的法兰(选购) 水冷法兰(选购)
RTL1200系统标配
描叙 |
数量 |
图片 |
RTL1200管式炉 |
1 套 |
|
石英管 |
1根 |
|
不锈钢法兰 |
1 套 |
|
不锈钢炉钩 |
1 个 |
|
石英炉塞 |
1对 |
|
高温手套 |
1 双 |
|
K型热电偶 | 1个 | |
485转换接口和软件(选配) |
1 套 |
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说明书 |
1本 |
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法兰支撑架 |
1 份 |
|
供气系统
|
1台 | |
VS-0.1抽气系统 | 1台 | |
射频电源 | 1台 | |
卡套 | 4个 | |
波纹管 | 1支 | |
真空挡板阀 | 1个 | |
钢瓶接头(N代表路数) | N个 | |
阀门接头 | 2 |